專營光罩回收|石英光罩回收買賣|光罩回收再生利用|光罩回收處理方式介紹

光罩回收用途

所謂「光罩」是在製作積體電路的過程中利用光蝕刻技術在半導體上形成圖型，為了將圖型複製於晶圓上，必須透過光罩作用原理，類似沖洗照片的原理，利用底片將影像複製至相片上。

由台灣晶圓廠商提倡光罩回收廢棄物管理，從「源頭減量」開始持續推動光罩回收，達到廢棄物減量到最低的目標。

從「循環經濟」角度與廠商合作研究光罩回收、廢棄物處理新技術，強化光罩回收後再利用，最終達到光罩回收重複循環使用為目標。

目前台灣晶圓廠已達到光罩回收率≧95%、掩埋率≦1%、廠內光罩回收資源再活化利用的比例≧30%

從「稽核輔導」落實透過高科技產業之廢棄物光罩回收廠商評鑑稽核規範，進行光罩回收成效稽核與聯合評鑑輔導光罩回收。

光罩回收廢棄物處理，及光罩回收再利用的廠商稽核輔導率已達100%

光罩回收廢棄物處理，及光罩回收再利用廠商取得ISO等國際環安衛管理認證比例已達70%

光罩回收目的

配合晶圓廠的企業社會責任政策，廢棄物管理秉持光罩回收資源循環永續利用原則，目的是達成「光罩回收廢棄物產出最小化，光罩回收資源循環使用最大化」的執行方針。

光罩回收處理方法

• 光罩回收去除金屬鉻膜處理方式-經過溶蝕去除光罩上的金屬鉻膜後，並進行洗淨烘乾。
• 將光罩回收後檢測光罩表面狀態，研磨並去除光罩表面殘留的化學成份及異物。
• 將研磨後的光罩洗淨、烘乾，最後檢驗符合標準，光罩回收後再生利用符合環保回收精神。
• 光罩回收適用於高科技半導體、面板製造等產業，光罩回收經去除金屬鉻膜後，加以回收再生利用。
• 光罩回收處理步驟一、溶蝕：用化學溶蝕液去除回收光罩表面的金屬鉻膜。
• 光罩回收處理步驟二、洗淨、烘乾：將經過溶蝕後的光罩洗淨烘乾。
• 光罩回收處理步驟三、檢測光罩的表面狀態。
• 光罩回收處理步驟四、研磨：以研磨方式去除光罩回收表面可能殘留的化學成份及異物。
• 光罩回收處理步驟五、洗淨、烘乾：將經過研磨後的光罩洗淨烘乾。
• 光罩回收處理步驟六、檢驗：檢驗合格則為成品，若不合格將重複上面程序。